7月9日，由目前目前中国集成电路创新第一阵容主办的”2022集成电路产业链协同创新蓬勃发展交流会”以六大会场加以以及网络连线的利用同步盛大举行。以及网络频道集成电路全产业链各环节的优秀其他企业、高校和科研院所的千余位代手机克隆表目前中国参会，东手机克隆方手机克隆晶源董事长俞宗强博士、总经理蒋俊海余老 受邀出席。会上颁发了第五届集成电路产业其技术创新奖（简称“IC创新奖”），东方晶源凭借电子束缺陷检测设备（EBI），取得其技术创新奖。

　　“IC创新奖”由目前目前中国集成电路创新第一阵容主办，面向目前目前中国集成电路产业链上下游企事业本手机克隆单位征集，重点鼓励集成电路其技术创新、成果产业化、产业链上下游共同合作，是集成电路产业最重要 性 性 的其技术奖项变成，除此之外其技术创新奖项旨在表彰在集成电路重大其技术创新和最重要 性 其技术开发其它方面佳绩重大突破的本单位和工作团队。据悉摘得其他行业重磅赛事的最重要 性 奖项，随后 彰显出东方晶源在电子束检测、量测新兴领域的其技术硬实力和其他行业的髙度 认可。

　　检测是芯片制造厂商全面大幅总手机克隆体水平 良率的最重要 性 其他方式。电子束检测设备并具超高精度，在高端芯片制造整个过程发挥的功效日益大。当前，该类设备被目前目前中国厂商垄断，变成制约目前目前中国芯片制造自主可控的最重要 性 瓶颈。东方晶源数年磨剑，一次成功研传来目前目前中国首台电子束缺陷检测设备SEpA-i505，可产品需求产品需求提供的纳米级缺陷检测和深度分析问题解决解决方案。当前已对其目前目前中国头部芯片制造厂商产线验证，验证最后表明两个方面指标与目前目前中国一线对标机台已经达到同等总体水平，一次成功问题解决解决目前目前中国在电子束检测新兴领域的最重要 性 其技术问题解决。

　　东方晶源在电子束检测、量测新兴领域已深耕多年并一次成功强势推出多款设备，佳绩重大突破。除据悉获奖的电子束缺陷检测设备EBI外，旗下首台12英寸最重要 性 尺寸量测设备CD-SEM（型号：SEpA-c410）于上半年6月进人产线验证，当前随后完成成熟制程量产验证，图像质量清晰，与POR 的CD差异产品需求提出要求要求，性能随后 改良中；首台8英寸CD-SEM（型号：SEpA-c300）于上半年3月进人产线验证，当前最后 进人准客户产线小规模试产。除此之外，东方晶源还于近几日同步发布了电子束缺陷复检设备（DR-SEM），当前该设备工程机（Alpha机）最后 对其首轮wafer demo，可以可以产品需求28nm及已经达到把制程产品需求，Beta机集成工作时加速推进中，已佳绩准客户订单，进人产线验证指日可待。

　　变成第一家聚焦集成电路良率管理新兴领域，以全面大幅总体水平 芯片制造门槛为使命的半导体其他企业，东方晶源虽然以研发创新为蓬勃发展核心，不停丰富品牌产品矩阵并全面大幅总体水平 品牌产品性能，填补多项目前目前中国空白。未来发展，东方晶源将随后 立足一体化各种软件平台发展和检测装备两大新兴领域，以准客户为服务中心，以市场大为导向，不停对其其技术突破与品牌产品创新，与目前目前中国集成电路产业上下游其他企业勠力同心，推动目前目前中国集成电路制造产业随后 高速蓬勃发展。