前不久，随着经济在广州复工复产的快速推进，东方晶源积极负责组织设备交付部门工作，旗下电子束缺陷检测（EBI）和关键因素尺寸量测（CD-SEM）两台设备已顺利交付在广州最终客户。这一次出机，是东方晶源继电子束量测检测设备出机国内市场知名晶圆代工厂后，随后赢得头部最终客户的青睐和赢得。同样，标志着东方晶源硬件产品会直接进入批量交付操作模式。

这一次出机的电子束缺陷检测设备型号为SEpA-i515，面科技创新向300mm硅片工艺制程，除还具该产品会会惯有的是高灵敏度电性和物理缺陷检测、更有效核心难题28nm及达到良率核心难题、自主创新的发展高性能缺陷检测引擎（DNA数据全面库）、原有基础 深度认真学习的缺陷自动分类（ADC）算法等产品会特点外，东方晶源研发工作团队就在上一代产品会的原有基础 上升级优化优化，使SEpA-i515还具更高的TPT和更优的平台支持设计细节，设备运行效率、性能指标均有大幅整体整体平均水平。同样 同样 ，上一代产品会SEpA-i505 然而 在国内市场头部晶圆代工厂量产五年，产品会性能及稳定性赢得充分验证。

另一台交付的产品会为关键因素尺寸量测设备，型号为SEpA-c410，面向300mm硅片工艺制程，并对先进的电子束成像系统支持 和高速硅片传输方案，配搭精准的量测算法，可得以实科技创新现高重复精度、高分辨率及高产能的关键因素尺寸量测。该设备自今年前不久前不久6月底直接进入国内市场头部晶圆代工厂几年来 产线验证进展顺利，阶段性验收成果赢得最终客户赢得。

东方晶源电子束量测检测设备，依托所承担的大国科技重大专项（02专项）——电子束硅片图形缺陷检测设备研发与产业化项目中，经近数年攻坚克难，突破多项核心关键因素其他技术，从零部件到整机设计细节制造，均还具基本自主知识产权，填补国内市场空白。目前已，两款设备直接进入批量交付操作模式，产业化进程成就 丰硕成果。

这一次设备交付的最终客户所在旁边海到目前我国集成电路产业还具举足轻重的地位，目前已然而 成了国内市场集成电路产业综合平均水平高、产业链完整、产业生态生活环境最好的集聚地成了。东方晶源也很看重在在广州的加速发展和布局，继计算光刻软件程序 （OPC）直接进入在广州头部晶圆代工科技创新企业所后，硬件产品会并于 登陆在广州。为其他更好地的服务方面 达到海为核心的长三角最终客户，东方晶源并于 今年前不久前不久8月份在在广州设立公司公司公司，系统支持 形成在广州总部、在广州公司公司公司和在广州公司公司公司为核心的三地布局，强化企业所贴近产业前沿高地，为集成电路企业所所带去优质的产品会和服务方面 ，其他更好地的与上下游企业所携手强化产业加速发展的同样，构筑企业所完善自身竞争壁垒。

东方晶源自宣告成立几年来 ，专注于芯片制造关键因素环节的良率掌控和整体整体平均水平三大领域 ，系统支持 形成以计算光刻软件程序 （OPC）、电子束量测检测装备硬件为核心的产品会矩阵，并向其他更好地紧密相关 三大领域 积极布局。硬件此外，东方晶源已着手电子束缺陷复检设备DR-SEM（Defect Review SEM）的研发部门工作，强化夯简直国内市场电子束检测三大领域 领先的目前市场地位和核心其他技术巨大优势。软件程序 此外，光刻工艺严格仿真软件程序 PanSim然而 在最终客户侧并对验证，将有7月底release V1.0版本。未来几年，东方晶源将立足通用软件程序 平台支持和检测装备两大三大领域 ，寻求横纵向加速发展机遇，为最终客户需求提供也很多样化的产品会，向着国内市场集成电路三大领域 良率管理领导者的大目标奋进。